既然不能提高喷射频率,康驰就直接大力出奇迹,提高每次的喷射量,每喷一次就电它个五次甚至十次,最大程度地把锡转换成等离子体。
反正有磁场约束,不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。
即便如此,每秒2万次的频率也很夸张了。
只能通过高速摄像机和各种分析仪器,回放实验数据,才可能观测到实验的结果。
过了十分钟,测试的分析结果就出来了。
“未发现锡元素外泄,全部锡气在0.8秒后冷凝成液态,顺利进入废料收集器!”
听到分析员语气激动地念出结果,所有人的脸上都露出了喜悦的神色。
这说明支撑这套设计方案中,最重要的磁场设计是可行的!
所有人都已经能感受到,那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了!
何永深吸了口气,压抑住内心的激动,沉声道:“继续下一个环节,10秒连续喷射。”
然后,
10秒,30秒,1分钟,10分钟,30分钟!
测试的强度的不断提升,但都无一例外,全部顺利完成!
何永终于抑制不住脸上的喜悦,神色激动地对康驰汇报道:“康博士……第一阶段实验全部顺利通过!”
康驰点了点头:“那就直接开始第二阶段吧。”
“好的!”
虽然经过了一上午的实验,大家都有点饥肠辘辘了,但在这个节骨点,却没有任何人会有吃个饭再回来继续测试的想法。
所有人都憋着气,期待着这台凝聚了他们无数日夜的心血,在另一条更具潜力的技术路线上‘点光’成功!
“第一次电离准备,开始!”
话音刚落,从光线收集器传来的数据,就传输到了大屏幕上。
极紫外光参数从0W,直接跳到了500W!
虽然这道500W的极紫外光,持续的时间仅仅只有0.00002秒,但所有人都知道,他们的一只手已经摸到了成功的大门了!
“500W,我们成功了!”
所有人都再也抑制不住内心的激动,站起来对着康驰鼓掌庆祝了。
康驰的脸上,也不禁浮现出了一丝笑容:“是的,我们成功了。”
不过,这是阶段性的验证,只能代表这条技术线路是真实可行的。
接下来,他们还要像第一阶段的实验一样,不断提高实验强度,确定它是否已经可以稳定运行,直接进入商用阶段。
十分钟后,具体的分析数据也出来了,在刚刚电离锡金属的时候,磁场依然完成了它的使命。
它像一个无形的牢笼,牢牢地约束住了整个发光区域,没有让任何物质触碰到不该触碰的设备。
接着康驰直接让何永上强度,从10秒到1分钟,第三轮直接就是30分钟!
连续半个小时的稳定光源!
到了这一步,基本已经可以证明,这台DPP-EUV光源
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