究中心支援的14名操作人员,核心骨干已经有了49人。
而光刻机的安装正在如火如荼的进行,正月初五,第一台机器安装完成,比起清大光刻机傻大黑粗的模样,ASML的PA2000看起来小巧了很多,两台机器放在一起,体型差了两倍不止。
何振华也是满心喜悦,看了又看。
特别是这环境,无尘设计,看起来科技感很高。
“赵所长,这一共八台机器,能不能分一台给我们清大?”
赵国庆看了看何振华,想什么呢?
“是要留一台要拆的,你要是想要的话,不如过来!”
“……”
“不需要人工对准,自动对焦,工台的稳定性是怎么做到的,而且……”
PA2000的说明书就是个教程,光线的强度多少,对应世面上的光刻胶曝光的时间,还有不同的掩膜版参数所需要的距离。
实际的操作比清大的光刻机要简单了很多。
只需要在面板上,将光刻胶的类型参数,掩膜版的类型参数,PA2000有计时器,曝光时间到了,自动终止,转到下一个位置曝光,一直到整个晶圆完成。
赵国庆对何振华说:“看明白了吗?”
何振华长呼一口气,说:“了不得,你看看,晶圆上工台之后,这套自动化检测就了不得,不知道他们是怎么做到的,蚀刻过后,晶圆再次上工台,竟然可以自动复位,这可是微米级别的。”
赵国庆摇摇头,说:“我也想知道啊,我打算请沪市精密仪器厂,还有科院自动化研究院的人过来看看,用的啥原理,你的的光刻机要是装上了这种工台,也算鸟枪换炮了!”
何振华说:“你还嫌弃我们清大的机器,我们现在也算解决了一微米制程,比起国外也不落后!”
赵国庆笑道:“得了吧,还一微米制程,那良品率,谁要是买了你家光刻机,亏了连裤子都要当掉,没有九成以上的良品率就别说解决了,还有你看看人家制造一片晶圆要多长时间,你们要多长时间,你们用在校准上的时间,人家都已经造出好几片晶圆了!”
一片晶圆就含几百块芯片,就这效率就秒杀清大的。
这话说的没错,何振华也没什么好反驳的,但不管怎么说,清大微电子也可以制造一微米制程的芯片,这很重要。
不到一个小时的时间,在所有人的关注下,芯片经过上胶,烘干,曝光,清洗,蚀刻多道工序,顺利完成,还有专门的人在记录,制定操作规程。
PA2000自带检测工具,每一次操作都会评估工序的效果,根据显示的数据,可以选择延长曝光时间,或者提前结束,所以晶片完成后,也不需要再上电子显微镜观测。
不过切割之后,赵国庆还是留下一片放到显微镜下面观测,看了几分钟,赵国庆喊何振华来看。
他上眼一看,又看看放大的倍率,说:“你这是一微米制程?”
“你以为呢?”
何振华又扒着目镜继续看看,显微镜下,芯片的结构一览无余。
规整的布线,蚀刻基本上差不多的宽度和深度,平滑的边缘。
“这芯片跟艺术品差不多!”
赵国庆长呼一口气,这还不是最先进的光刻机,日本的尼康跟佳能的光刻机要更好,即便如此,已然超出他的预料,需要在基础上下的功夫太多了。
“这一微米跟一微米也是有很大差距啊!”
何振华看了半天,意犹未尽,对赵国庆说:“赵所长,你刚才说的话当不当真?”
赵国庆眉头微皱,说:“我刚才说什么了?”
“你说我是不是可以待着这,我刚才想好了,我要在这呆一段时间!”
赵国庆笑道:“可以是可以,不过你不能白来吧!”
“怎么,你还要跟我要钱?”
赵国庆招招手,贾鹏飞几个走过来。
“我帮我101所带带学生,这不过份吧!”
“……”
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