究中心支援的14名操作人员，核心骨干已经有了49人。
而光刻机的安装正在如火如荼的进行，正月初五，第一台机器安装完成，比起清大光刻机傻大黑粗的模样，ASML的PA2000看起来小巧了很多，两台机器放在一起，体型差了两倍不止。
何振华也是满心喜悦，看了又看。
特别是这环境，无尘设计，看起来科技感很高。
“赵所长，这一共八台机器，能不能分一台给我们清大？”
赵国庆看了看何振华，想什么呢？
“是要留一台要拆的，你要是想要的话，不如过来！”
“……”
“不需要人工对准，自动对焦，工台的稳定性是怎么做到的，而且……”
PA2000的说明书就是个教程，光线的强度多少，对应世面上的光刻胶曝光的时间，还有不同的掩膜版参数所需要的距离。
实际的操作比清大的光刻机要简单了很多。
只需要在面板上，将光刻胶的类型参数，掩膜版的类型参数，PA2000有计时器，曝光时间到了，自动终止，转到下一个位置曝光，一直到整个晶圆完成。
赵国庆对何振华说：“看明白了吗？”
何振华长呼一口气，说：“了不得，你看看，晶圆上工台之后，这套自动化检测就了不得，不知道他们是怎么做到的，蚀刻过后，晶圆再次上工台，竟然可以自动复位，这可是微米级别的。”
赵国庆摇摇头，说：“我也想知道啊，我打算请沪市精密仪器厂，还有科院自动化研究院的人过来看看，用的啥原理，你的的光刻机要是装上了这种工台，也算鸟枪换炮了！”
何振华说：“你还嫌弃我们清大的机器，我们现在也算解决了一微米制程，比起国外也不落后！”
赵国庆笑道：“得了吧，还一微米制程，那良品率，谁要是买了你家光刻机，亏了连裤子都要当掉，没有九成以上的良品率就别说解决了，还有你看看人家制造一片晶圆要多长时间，你们要多长时间，你们用在校准上的时间，人家都已经造出好几片晶圆了！”
一片晶圆就含几百块芯片，就这效率就秒杀清大的。
这话说的没错，何振华也没什么好反驳的，但不管怎么说，清大微电子也可以制造一微米制程的芯片，这很重要。
不到一个小时的时间，在所有人的关注下，芯片经过上胶，烘干，曝光，清洗，蚀刻多道工序，顺利完成，还有专门的人在记录，制定操作规程。
PA2000自带检测工具，每一次操作都会评估工序的效果，根据显示的数据，可以选择延长曝光时间，或者提前结束，所以晶片完成后，也不需要再上电子显微镜观测。
不过切割之后，赵国庆还是留下一片放到显微镜下面观测，看了几分钟，赵国庆喊何振华来看。
他上眼一看，又看看放大的倍率，说：“你这是一微米制程?”
“你以为呢？”
何振华又扒着目镜继续看看，显微镜下，芯片的结构一览无余。
规整的布线，蚀刻基本上差不多的宽度和深度，平滑的边缘。
“这芯片跟艺术品差不多！”
赵国庆长呼一口气，这还不是最先进的光刻机，日本的尼康跟佳能的光刻机要更好，即便如此，已然超出他的预料，需要在基础上下的功夫太多了。
“这一微米跟一微米也是有很大差距啊！”
何振华看了半天，意犹未尽，对赵国庆说：“赵所长，你刚才说的话当不当真？”
赵国庆眉头微皱，说：“我刚才说什么了？”
“你说我是不是可以待着这，我刚才想好了，我要在这呆一段时间！”
赵国庆笑道：“可以是可以，不过你不能白来吧！”
“怎么，你还要跟我要钱？”
赵国庆招招手，贾鹏飞几个走过来。
“我帮我101所带带学生，这不过份吧！”
“……”
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